Year | Title | Registration number |
2016 | 고출력 UV LED 광원의 펄스제어를 이용한 마스크리스 노광장치 | 10-1682686
|
2016 | 고출력 UV LED 광원의 펄스제어를 이용한 DMD 과열 저감 시스템 | 10-1689836
|
2017 | DMD 기반의 노광 장치 | 10-1718529 |
2017 | DMD 기반의 노광 장치에서 이용가능한 래스터 이미지 생성 방법 및 장치, 및 래스터 이미지 생성 방법을 실행하기 위한 프로그램을 기록한 기록 매체
| 10-1720595
|
2018 | DMD 노광 광학계에서의 워킹 스테이지와 DMD 정렬방법
| 10-1825380
|
2018 | DMD에 수직하게 조사광을 입사시키는 노광광학계
| 10-1849653
|
2018 | 동축 케이블의 바늘 접합 방법 | 10-1926823
|
2019 | 노광 광학계에서 DMD를 정렬하기 위한 장치 | 10-1985857 |
2019 | 노광 광학계에서 DMD를 정렬하기 위한 장치 및 그 방법 | 10-1985859 |
2019 | DMD에 입사하는 조사광 방향을 제어할 수 있는 노광 광학계 및 이를 구성하는 광 조사 광학계 | 10-2013194 |
2019 | 고속 노광과 저속 노광이 가능한 DMD 기반의 노광 장치 | 10-2042012 |
2019 | 레이저 광학계 | 10-2042992 |
2020 | 트레파닝 모듈 | 10-2074678 |
2020 | 트레파닝 모듈 | 10-2142058 |